INFICON Gemini MPG500 3MBO-006-000 真空計技術說明
INFICON Gemini MPG500 3MBO-006-000 真空計技術說明
一、產品概述
二、核心測量參數
測量范圍：1×10?? mbar ～ 1000 mbar
皮拉尼測量段：大氣壓～1×10?3 mbar
冷陰極測量段：1×10?3 mbar～1×10?? mbar
重復性：±2% 讀數
響應速度：中真空段小于 100ms，高真空段約 1 秒
三、電氣與接口
供電電壓：14～30VDC
通訊接口：RS485
模擬輸出：1.15～10.215VDC 對數輸出
配置兩路可編程設定點繼電器輸出
電氣接口：8 針 FCC 接口
四、機械與環境參數
連接法蘭：KF25 快裝法蘭
腔體材質：316L 不銹鋼
可烘烤溫度： 250℃
工作環境溫度：5～60℃
防護等級：IP40
承受過壓：10bar 壓力
五、工作原理
大氣壓至中真空區間，由皮拉尼傳感元件通過氣體熱傳導特性測量壓力
中高真空至超高真空區間，自動切換為倒置磁控管冷陰極電離原理測量
內置智能算法實現兩段量程無縫切換，全程無斷點、無盲區
冷陰極結構無燈絲，不易損壞，抗污染能力更強，使用壽命更長
六、產品特點
單臺覆蓋超寬量程，減少多傳感器安裝與布線
無燈絲設計，耐沖擊、耐破大氣、不易燒毀
一體化結構，安裝空間小，適配各類真空腔體
內置溫度補償，長期工作穩定性好、漂移小
支持數字通訊與模擬輸出，方便接入 PLC 與控制系統
維護簡單，污染嚴重時可直接更換傳感單元
七、典型應用場景
半導體工藝設備：刻蝕、薄膜沉積、離子注入、鍵合設備
光學與功能鍍膜設備：PVD、CVD 真空鍍膜系統
工業真空爐：真空燒結、熱處理、釬焊、脫脂爐
科研實驗室設備：表面分析儀器、超導設備、真空試驗裝置
真空檢漏系統與各類高真空、超高真空系統
八、安裝與使用注意事項
安裝時保證法蘭密封清潔，密封圈完好無損傷
盡量避免油霧、粉塵、腐蝕性氣體直接進入傳感器
建議在進氣端加裝過濾器，延長使用壽命
遠離強磁場、強振動位置安裝，避免影響測量精度
通訊線纜采用屏蔽線并可靠接地，減少電磁干擾
設備出廠已校準，一般工況下無需現場頻繁校準
九、INFICON 真空計常見故障處理
無顯示或無輸出：檢查供電、接線及接口是否松動
讀數不穩定：排查腔體污染、系統泄漏、振動干擾
冷陰極段不工作：確認真空度已進入對應區間，檢查傳感器污染情況
數值漂移明顯：清潔傳感器或更換傳感單元，檢查環境溫度波動
